数控机床加工造成加工精度异常故障的原因隐蔽性强，诊断难度比较大，归纳出五个主要原因：机床进给单位被改动或变化；机床各个轴的零点偏置异常；轴向的反向间隙异常；电机运行状态异常，即电气及控制部分异常；机械故障，如丝杠，轴承，轴联器等部件。另外加工程序的编制，刀具的选择及人为因素，也可能导致加工精度异常。
1.直观法：机床的故障现象，加工状况等；看-CRT报警信息，报警指示灯，电容器等元件变形烟熏烧焦，保护器脱扣等；听-异常声响；闻-电气元件焦糊味及其它异味；摸-发热，振动，接触不良等。
2.参数检查法：参数通常是存放在RAM中，有时电池电压不足，系统长期不通电或外部干扰都会使参数丢失或混乱，应根据故障特征，检查和校对有关参数。
3.隔离法：一些故障，难以区分是数控部分，还是伺服系统或机械部分造成的，常采用隔离法。
4.同类对调法用同功能的备用板替换被怀疑有故障的模板，或将功能相同的模板或单元相互交换。
5.功能程序测试法将G，M，S，T，功能的全部指令编写一些小程序，在诊断故障时运行这些程序，即可判断功能的缺失。
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